一、市場規模快速增長，未來進口替代空間大

    靜電卡盤是半導體設備的核心組件之一，對于控制晶圓的溫度（加熱及冷卻）至關重要。靜電卡盤（簡稱 ESC 或者 E-CHUCK）具有高穩定性、晶圓平坦度高、顆粒污染小、邊緣效應小等優勢，目前已廣泛應用在等離子和真空工藝的半導體工藝過程中。

    下游集成電路產業的蓬勃發展及巨大的需求配合積極的國家產業政策與活躍的社會資本，正在全方位、多角度地推動ESC行業進步，為我國ESC廠商創造了機遇。行業需求不斷增加，市場規模不斷擴大，據統計2014年我國晶圓的靜電卡盤市場規模為1197萬元，2019年我國晶圓的靜電卡盤市場規模增長至5349萬元。

2014-2019年中國晶圓的靜電卡盤市場規模走勢

資料來源：智研咨詢整理

    智研咨詢發布的《2021-2027年中國晶圓的靜電卡盤行業市場全景分析及發展趨勢研究報告》數據顯示：靜電卡盤行業具有較高的技術、資金要求，呈現高度的壟斷性，基本被國外品牌產品占據。我國晶圓的靜電卡盤市場以進口產品為主。2018年，北京華卓精科公司完成PVD靜電卡盤的研制，打破了國外對靜電卡盤產品的工藝技術壟斷，有望打破現有產業格局。相關數據表明，2019年我國進口產品規模為96.9%，未來國產產品進口替代空間大。

2014-2019年我國晶圓的靜電卡盤進口產品規模份額

資料來源：智研咨詢整理

    二、國產靜電卡盤技術突破

    靜電卡盤行業主要由美國AMAT、美國LAM、日本新光電氣、日本TOTO等日、美國企業主導。我國靜電卡盤參與企業相對較少，華卓精科靜電卡盤產品在國產制造商中處于領先地位。但國內很多高校、研究機構以及高新技術企業開始紛紛將目光投向靜電卡盤的研究。其中較具代表性的研究高校包括清華大學、北京大學、大連理工大學、北京工業大學等，研究機構包括中國科學院微電子研究所、中國電子科技集團公司第四十八研究所等，參與靜電卡盤研制開發的高新技術企業包括北方微電子公司、中微半導體設備有限公司、中芯國際集成電路制造有限公司、北京華卓精科科技股份有限公司等。

    各方努力共同推動了我國靜電吸盤（ESC）等半導體配套設備國產化穩步進行。靜電卡盤從2014年的4臺增長到了2018年的21臺。除了北京華卓精密科技一家可以生產成熟的晶圓的靜電卡盤產品外，其他企業如廣東海拓創新精密設備、北京軟體機器人、浙江新納陶瓷新材等公司的靜電卡盤產品尚處于研發階段，目前僅能進行靜電吸盤的維修以及更換，生產方面尚不成熟。

2014-2019年中國晶圓的靜電卡盤行業產量情況

資料來源：智研咨詢整理

    晶圓的靜電卡盤行業客戶主要是集成電路設備生產企業，需求也主要分布在下游較為集中的華東、華北地區。2014年我國晶圓的靜電卡盤行業需求量約46臺，到2019年增長到了131臺。近幾年我國晶圓的靜電卡盤行業需求量情況如下圖所示：

2014-2019年中國晶圓的靜電卡盤行業銷量情況

資料來源：智研咨詢整理

    未來產業趨于進一步集中

    我國晶圓的靜電卡盤行業發展時間不長，國內的技術水平與國際上的技術水平存在較大的差距。當前我國晶圓的靜電卡盤技術突破有限，國內市場基本被國外龍頭企業壟斷。但隨著中國靜電卡盤技術研發的不斷深入，預計未來中國有望實現技術突破，打破國外企業壟斷的局面，實現進口替代。

    未來，隨著市場競爭進一步加劇，具有技術、品牌、人才和資金優勢的廠商將通過資本運作的方式將成為潛在的行業整合者，行業內的兼并收購將不可避免。缺乏技術創新、服務能力和獨特商業應用模式的企業將逐步被淘汰，競爭實力較弱的中小廠商數量將大幅減少，產業趨于進一步集中。