內容概況：從行業供需方面來看，雖然近年來我國晶圓的靜電卡盤產量有所增長，但仍難以滿足國內大量的需求市場，因此，長期以來我國晶圓的靜電卡盤處于供不應求的狀態。具體來看，2022年我國晶圓的靜電卡盤產量為77臺，同比增長83.3%；需求量為464臺，同比增長14%。

關鍵詞：晶圓的靜電卡盤行業發展趨勢 晶圓的靜電卡盤行業競爭格局 晶圓的靜電卡盤行業市場規模 晶圓的靜電卡盤行業供需情況

一、概述

靜電卡盤又稱靜電吸盤（簡稱ESC）是以庫倫定律、洛倫茲定律、J-R效應、電勢梯度等為原理依據的新型吸附技術。根據被吸附對象材質的特性采用一種或者多種吸附方式，從而實現對物體有效地吸附。晶圓的靜電卡盤是一種利用靜電吸附原理將晶圓牢固地吸附在其表面的設備。它可以在晶圓加工過程中為晶圓提供穩定可靠的支撐，同時可以通過背吹氣體來控制晶圓的溫度。靜電卡盤主要由陶瓷基板、靜電電極、機械頂針、外設電源、背吹系統和冷卻基體等部分組成。

二、行業政策

晶圓的靜電卡盤的最終應用領域主要為集成電路制造，因此，集成電路行業的發展對行業起著至關重要的左右。近些年來，為了促進集成電路行業的發展，我國陸續發布了許多政策，如2021年中共中央國務院發布的《知識產權強國建設綱要（2021－2035年）》健全專門保護與商標保護相互協調的統一地理標志保護制度，完善集成電路布圖設計法規。

三、產業鏈

晶圓的靜電卡盤行業產業鏈上游為原材料供應環節，主要包括氧化鋁、碳化硅、聚酰亞胺、環氧樹脂等；中游為晶圓的靜電卡盤生產供應環節；下游應用主要集中在半導體設備領域。

由于我國半導體產業發展起步相對較晚，我國半導體設備行業發展更是步履維艱。受設備驗證周期長、下游廠商缺乏動力、企業技術水平相對落后、規模較小、技術研發投入不足等因素制約，行業規模一直處于較小的狀態。半導體設備大量依賴進口不僅嚴重影響我國集成電路的產業發展，也對我國電子信息產業安全造成重大威脅。2018年以來，隨著國家對半導體領域的支持政策進一步強化，晶圓廠對設備供應鏈安全更為關注，行業進入高速發展期，國產化率迅速攀升，自2018年的5.03%上升至了2022年的14.08%，行業規模也隨之快速增長。據資料顯示，2022年我國半導體設備行業市場規模為1630.52億元，同比下降8.8%。

四、發展現狀

半導體產業具有技術含量高、研發投入大的特點，外資廠商布局較早，在各細分行業基本處于領導地位。我國半導體產業發展起步較晚，技術積累不足。目前我國半導體產業在制造、封測端具有良好行業競爭力，但在設計、材料、設備等方面依然與世界先進水平存在差距，在較大程度上仍然依賴進口，國產化率較低，近年來，在下游需求增長的推動下，我國晶圓的靜電卡盤行業市場規模快速增長，但市場基本被國外品牌產品壟斷，市場主要以進口產品為主。隨著華卓精科生產技術的突破在一定程度上破除了海外廠商在靜電卡盤領域的長期壟斷局面，未來，在國家政策的大力支持下，國產晶圓的靜電卡盤進口替代空間巨大。據資料顯示，2022年我國晶圓的靜電卡盤行業市場規模為28037.2萬元，同比增長7.7%，其中進口產品規模占比為92.2%，較2017年下降6.3個百分點。區域分布方面，受國內集成電路等生產設備區域布局的影響，我國晶圓的靜電卡盤產品消費具有明顯區域性特征。2022年華北地區占比為49.74%；華東地區占比35.53%，其他區域占比為14.73%。

從行業供需方面來看，雖然近年來我國晶圓的靜電卡盤產量有所增長，但仍難以滿足國內大量的需求市場，因此，長期以來我國晶圓的靜電卡盤處于供不應求的狀態。具體來看，2022年我國晶圓的靜電卡盤產量為77臺，同比增長83.3%；需求量為464臺，同比增長14%。

相關報告：智研咨詢發布的《中國晶圓的靜電卡盤行業市場競爭狀況及發展趨向分析報告》

從行業均價方面來看，受技術水平的限制，雖然華卓精科已開發出12寸PVD氮化鋁靜電卡盤，在一定程度上破除了海外廠商在靜電卡盤領域的長期壟斷局面，目前該產品已實現小規模量產，但產品相較于國外高端產品仍有不小差距，進口產品價格也遠高于國產價格。具體來看，2017年，我國國產晶圓的靜電卡盤均價為18.0萬元/臺，進口晶圓的靜電卡盤均價70.0萬元/臺。2022年，我國國產晶圓的靜電卡盤均價增至28.9萬元/臺，進口晶圓的靜電卡盤均價為66.8萬元/臺。

五、競爭格局

我國目前靜電卡盤的研發制造仍處于起步階段，雖部分產品已與業界先進水平持平，但在產品種類方面較行業頭部企業仍有較大的差距，且在面向更高節IC制造需求的靜電卡盤開發制造技術方面還落后于國際先進水平。國內企業開展靜電卡盤研發，華卓精科已實現小規模量產。針對潛在的靜電卡盤斷供風險，目前已有多家國內制造商展開了靜電卡盤的相關布局，并已取得了許多實質性的進展。目前已有包括華卓精科、海拓創新、中瓷電子、富創精密、珂瑪科技等國家國內企業開始了靜電卡盤相關的研發生產工作。其中華卓精科已開發出12寸PVD氮化鋁靜電卡盤，在一定程度上破除了海外廠商在靜電卡盤領域的長期壟斷局面，目前該產品已實現小規模量產。未來隨著國家對關鍵半導體設備零部件研發的大力支持，美、日企業對我國靜電卡盤產業鏈長期壟斷的局面有望得到改變。

六、發展趨勢

政策利好行業發展。作為關系國民經濟和社會發展的基礎性、先導性和戰略性產業，集成電路及其相關行業得到了國家的持續關注，政府先后出臺一系列針對集成電路及其相關行業的法律法規和產業政策，大力推動行業快速發展。一方面，國家陸續出臺了《國務院關于印發進一步鼓勵軟件產業和集成電路產業發展若干政策的通知》和《國家集成電路產業發展推進綱要》等法律法規和行業政策，鼓勵和推進集成電路產業快速發展；另一方面，國家陸續頒布了《關于退還集成電路企業采購設備增值稅期末留抵稅額的通知》、《關于集成電路企業增值稅期末留抵退稅有關城市維護建設稅教育附加和地方教育附加政策的通知》和《關于集成電路生產企業有關企業所得稅政策》等產業政策，為業內企業創造了有利的稅收、研究支持、人才培養環境。

發展前景向好。半導體作為國家戰略新興產業，將成為經濟增長的新火車頭。而晶圓的靜電卡盤則為半導體產業的重要組成部分，以重大技術突破和發展需求為基礎，對經濟社會全局和長遠發展具有重大的引領帶動作用。經過近幾年國家投入力度的加大和政策措施的扶持，戰略性新興產業已初步夯實了發展基礎，將逐漸形成新的核心競爭力。 近年來，下游行業的發展繁榮為中國半導體行業的快速崛起提供了良好的發展環境，同時，在新技術（云計算、人工智能、智能駕駛）逐步興起的背景下，基于對深度大數據處理的需求大幅增加，將帶來晶圓的靜電卡盤的快速更新升級，晶圓的靜電卡盤行業或迎來大規模發展契機。

以上數據及信息可參考智研咨詢（www.szxuejia.com）發布的《中國晶圓的靜電卡盤行業市場競爭狀況及發展趨向分析報告》。智研咨詢是中國領先產業咨詢機構，提供深度產業研究報告、商業計劃書、可行性研究報告及定制服務等一站式產業咨詢服務。您可以關注【智研咨詢】公眾號，每天及時掌握更多行業動態。