內容概要：電子特氣是特種氣體的一個重要分支，是指用于半導體、平板顯示及其它電子產品生產的一類氣體。我國作為全球最大的半導體和顯示面板生產基地之一，國內電子特氣需求旺盛。同時，得益于國內芯片、顯示面板等產業的蓬勃發展，以及在國家政策支持下，半導體產業鏈國產化替代的加速推進，我國正逐漸從電子特氣消費大國向生產大國轉變，全國電子特氣市場正保持高于全球平均增速的速度發展。據統計，2023年，我國電子特氣市場規模已增長至249億元。此外，目前國內企業正在加速追趕，所占市場份額正在慢慢擴大中。根據市場預測，2025年我國電子特氣國產化率有望提升至25%。

相關上市企業：南大光電（300346）；華特氣體（688268）；金宏氣體（688106）；雅克科技（002409）；凱美特氣（002549）；昊華科技（600378）；僑源股份（301286）；中船特氣（688146）

相關企業：法國液化空氣集團；空氣化工產品投資有限公司；林德集團（Linde）

關鍵詞：全球電子特氣市場規模；中國電子特氣市場規模；中國電子特氣競爭格局；國內重點競爭企業

一、行業概況

特種氣體主要包括高純氣體、電子氣體、標準氣體三大類，其中電子特種氣體（簡稱電子特氣）是特種氣體的一個重要分支，是指用于半導體、平板顯示及其它電子產品生產的一類氣體。這些氣體在半導體制造的多個環節中扮演著關鍵角色，包括但不限于清潔、刻蝕、沉積、摻雜以及光刻過程中。由于這些過程對材料的純度和精確性要求極高，因此電子特氣必須達到極高的純度標準，通常是99.999%（5N）甚至更高。根據成分與用途的不同，可以將電子特氣大致分為七種：摻雜用氣體、外延晶體生長氣、離子注入氣、刻蝕用氣體、氣相沉積（CVD）氣體、平衡/反應氣體、摻雜配方氣體。其中，某些特種氣體在多個環節都有所應用（比如硅烷）。

電子特氣行業產業鏈上游為原材料及設備供應環節，主要包括空氣、工業廢氣、液氧、液氮等原材料，以及氣體分離設備、壓力容器設備、氣體純化設備、氣體壓縮設備等器械設備。產業鏈中游為各類電子特氣生產制造環節，代表廠商有空氣化工、金宏氣體、德國林德、華特氣體、南大光電、液化空氣、雅克科技等。產業鏈下游為電子特氣應用領域，主要包括集成電路、顯示面板、太陽能電池等行業。

二、產業現狀

電子特氣廣泛應用于半導體、微電子和相關的太陽能電池等高科技產業，或用于薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗，或用作載氣、保護氣氛等等。近年來，得益于半導體產業的加速發展，全球電子特氣市場規模呈現持續增長態勢。數據顯示，2023年全球電子特氣市場規模已增長至56億美元，且根據市場預測，2024年全球電子特氣市場規模將進一步增長達60億美元，2025年將達64億美元。

電子特種氣體作為集成電路的重要耗材，隨著我國集成電路行業發展，國家對于該行業的產業規劃重視程度也逐漸提高。“十四五”以來，國家發改委、科技部、工信部、財政部、國家稅務總局等部門接連頒布了《鼓勵外商投資產業目錄（2022年版）》《產業結構調整指導目錄（2024年本）》《工業戰略性新興產業分類目錄（2023）》《重點新材料首批次應用示范指導目錄（2024年版）》等系列政策，將電子特氣列為國家重點鼓勵發展產業，有力推動了電子特種氣體產業的發展。在此背景下，國內氣體企業紛紛加大研發投入，不斷突破技術難關，逐步實現電子特種氣體產品的國產替代。

我國作為全球最大的半導體和顯示面板生產基地之一，國內電子特氣需求旺盛。同時，得益于國內芯片、顯示面板等產業的蓬勃發展，以及在國家政策支持下，半導體產業鏈國產化替代的加速推進，我國正逐漸從電子特氣消費大國向生產大國轉變，全國電子特氣市場正保持高于全球平均增速的速度發展。據統計，2023年，我國電子特氣市場規模已增長至249億元，2024年或將增長達262.5億元，2025年將達279億元。

相關報告：智研咨詢發布的《中國電子特氣行業發展動態及投資規劃分析報告》

三、競爭格局

全球市場上，主要的競爭者包括美國空氣化工（AirProducts）、美國普萊克斯（PRAXAIR）、德國林德集團（Linde）、法國液化空氣（AL）、大陽日酸（現已更名為日本酸素控股）等五大公司，它們共同控制著全球90%以上的市場份額。這些公司通過在全球范圍內建立龐大的生產和供應網絡，形成了強大的市場影響力和競爭力。

在國內市場，海外幾大氣體巨頭同樣占據了顯著的市場份額，大約為86%。我國電子特氣公司與國外巨頭相比，在技術水平和市場份額上存在一定的差距。然國內部分特氣產品已經實現了自主可控，并在市場上占據了主要份額，如南大光電的高純磷烷、砷烷產品，中船特氣的含氟電子特氣產品等。總體來看，我國電子特氣行業的競爭格局仍然較為集中，寡頭壟斷的特點明顯。目前國內企業正在加速追趕，市場份額在慢慢擴大中。根據市場預測，2025年我國電子特氣國產化率有望提升至25%。

我國電子特氣行業經過30年的發展和沉淀，通過不斷的經驗積累和技術進步，業內領先企業已在部分產品上實現突破，達到國際標準，逐步實現進口替代，特種氣體國產化具備了客觀條件。例如，華特氣體以高純六氟乙烷入手，已實現進口替代并規模化供應產品高達50余種，數量在國內特氣公司中居于領頭位置。中船特氣部分產品品質已達到國際領先水平，是國內首個進入5nm制程的電子特氣供應商，旗下六氟化鎢、三氟化氮等產品以實現國產替代。南大光電成功實現了高純砷烷、磷烷等特種電子氣體的產業化，打破了國外技術封鎖和壟斷，同時氫類電子特氣在技術、品質、產能和銷售各方面已躍居世界前列。

四、重點企業

江蘇雅克科技股份有限公司前身為宜興雅克化工有限公司正式成立，成立于1997年，2010年正式登陸深圳證券交易所中小板上市，股票簡稱“雅克科技”。雅克科技主要致力于電子半導體材料、深冷復合材料以及塑料助劑材料研發和生產，主營業務包括半導體化學材料、光刻膠及配套試劑、電子特種氣體、球形硅微粉、阻燃劑等產品生產銷售。在電子特氣業務方面，雅克科技目前已為臺積電、三星電子、Intel、中芯國際、海力士、京東方等芯片制造商批量、穩定供應電子特氣。數據顯示，2024年，雅克科技電子特種氣體業務銷售收入為2.04億元，同比增長0.88%。

湖南凱美特氣體股份有限公司成立于1991年6月11日，2011年2月18日在深交所掛牌上市，股票簡稱“:凱美特氣”。凱美特氣是一家以石油化工尾氣（廢氣）、火炬氣回收利用的專業環保企業，公司主營產品有高純二氧化碳、氫氣、液化氣、戊烷、電子特氣等，廣泛應用于電子、化工、飲料、食品、煙草、石油、冶金、農業等多個領域。近年來，凱美特氣在鞏固和夯實“KMT”牌產品傳統業務的基礎上，不斷加快公司電子特氣產品的市場拓展與銷售工作，實現電子特氣產品產能釋放，利用公司已建立的營銷網絡，積極切入國際國內高端客戶，不斷提升在專業電子特種氣體和混配氣體領域的核心競爭力，持續推動我國電子特氣行業國產化替代進程推進。數據顯示，2024年上半年，凱美特氣特種氣體銷售收入為553.73萬元，同比下降77.76%。

五、發展趨勢

1、下游應用需求日益旺盛

電子特氣是半導體制造的關鍵原材料，主要應用于光刻、刻蝕、成膜、清洗、摻雜、沉積等工藝環節。隨著半導體產業的快速發展，尤其是集成電路和顯示面板等高科技產品對高品質、高純度電子特氣的需求日益增大，電子特氣市場需求呈現快速增長態勢。此外，隨著LED、光伏等產業的快速發展，這些領域對電子特氣的需求也在不斷增加。

2、行業國產化率不斷提升

目前，我國電子特氣的國產化率整體仍然較低。由于國內電子特氣行業起步較晚，技術積累相對薄弱，同時面臨著國際巨頭的市場壟斷和技術封鎖，導致國內企業在電子特氣領域的市場份額較小。但近年來，隨著國內企業技術水平的提升和自主創新能力的增強，國產化率逐步提升。未來，國內企業將繼續加大技術研發和創新投入，提高產品質量和性能，進一步提升國產化率。根據市場預測，2025年我國電子特氣國產化率有望提升至25%。

3、技術創新加速驅動產業發展

隨著科技的進步，半導體制造工藝不斷升級，對電子特氣的質量和性能要求也越來越高。這倒逼電子特氣技術的不斷創新和升級。技術創新能夠提升電子特氣的純度、穩定性和一致性，從而滿足高端制造業對高品質電子特氣的需求。同時技術創新可以優化生產工藝，提高生產效率，降低原材料和能源消耗，從而降低生產成本。此外，技術創新能夠推動電子特氣在更多領域的應用，如新能源、生物醫藥等新興產業，為電子特氣行業帶來新的增長點。

以上數據及信息可參考智研咨詢（www.szxuejia.com）發布的《中國電子特氣行業發展動態及投資規劃分析報告》。智研咨詢是中國領先產業咨詢機構，提供深度產業研究報告、商業計劃書、可行性研究報告及定制服務等一站式產業咨詢服務。您可以關注【智研咨詢】公眾號，每天及時掌握更多行業動態。