摘要：據統計，截至2022年我國電子特氣行業市場規模為214.4億元，未來隨著全球半導體產業鏈不斷向國內轉移，將顯著拉動我國電子特氣需求，也將進一步加速電子特氣國產化進程。

一、定義及分類

電子特種氣體，簡稱電子特氣，是指用于半導體、顯示面板、光伏、LED及其它電子產品生產過程的特種氣體。工業中，把常溫常壓下呈氣態的產品統稱為工業氣體產品。電子特種氣體主要應用于光刻、刻蝕、成膜、清洗、摻雜、沉積等工藝環節，主要分為三氟化氮等清洗氣體、六氟化鎢等金屬氣相沉積氣體等。

二、行業政策

電子特種氣體作為關鍵性電子材料，廣泛應用于集成電路、顯示面板、光伏、光纖通信等領域，近年來得到國家產業政策的大力支持。國家發改委、科技部、工信部、財政部、國家稅務總局等部門相繼出臺一系列產業支持政策，有力推動了電子特種氣體產業的發展。

三、行業歷程

電子特氣技術延續于工業氣體的發展進步，18世紀末，工業氣體主要被應用于醫用領域，后逐步應用于商業領域；20世紀中期，分餾加工方法的發明和使用，大大降低了工業氣體的生產成本，加速了工業氣體的產業化進程；20世紀末，電子產業高速發展，運用于集成電路、顯示面板等電子設備的高品質、高純度電子特氣需求增大，從而誕生了特種氣體行業。至今，隨著電子信息等高新技術的迅速發展，特種氣體規模不斷擴大、技術壁壘不斷提升。海外企業具備多年的技術、渠道、資源、人才的積累，在特種氣體市場占據領先優勢，近些年國內部分領先龍頭企業實現了技術突破，打破了海外產品壟斷，逐步在市場嶄露頭角。

四、行業壁壘

1、技術壁壘

電子特種氣體種類較多，不同類產品的合成、純化等工藝技術可能存在較大差異，且工藝路線長、過程復雜；同時，電子特種氣體對產品純度、產品指標的穩定性和一致性要求極高，需要對生產過程中各類雜質含量進行精準有效地控制，工藝難度較大。因此，電子特種氣體企業開發一種滿足半導體工藝要求的氣體品種，往往需要長時間的研發積累，實現關鍵核心技術的突破，以及在產業化應用中對工藝參數不斷進行優化。目前國內氣體企業實現了對部分電子特種氣體品種的國產替代，在產品的開發和產業化中，通常要面臨不同類產品之間的核心技術壁壘。

2、客戶認證壁壘

電子特種氣體的下游主要為集成電路、顯示面板等行業的大型廠商，其對產業鏈的管理高度精細化，對氣體產品的質量和供應穩定性有極高的要求，對于原材料和供應商的認證和選擇非常嚴格。因此，新產品即使成功完成實驗室研發和批量化生產，在向客戶推廣時還將面臨較高的準入壁壘，需要較長時間的審核認證周期。

3、海外業務拓展在專利布局、市場開發方面存在較大挑戰

全球范圍內，美國、日本、韓國、中國臺灣等國家和地區是集成電路產業的主要聚集地，也是重要的電子特種氣體終端市場。一方面，境外電子特種氣體產業發展較為成熟，國際巨頭專利布局較為全面，相關國家和地區關于知識產權保護的法律體系較為完善，國內氣體企業拓展海外業務需要完善海外專利布局以滿足相關法律法規對知識產權的要求。另一方面，電子氣體行業集中度較高，林德、液化空氣、大陽日酸和空氣化工4大國際巨頭市場份額超過70%，市場格局相對固化，且部分國家和地區存在保護本土產業的傾向，成為國內氣體企業拓展海外業務的挑戰。

4、人才壁壘

我國半導體產業起步較晚，雖然近年來發展速度和國產化進程加快，但相關產業的人才培養尚需時間。目前，電子特種氣體行業專業研發人才、具備半導體工藝服務和應急處理能力的人才、具備專業知識和國際化視野的市場營銷人才、具備專業管理理念和技能的人才等都相對缺乏。國內企業、高校、研究院所的基礎研究實力和產業化能力與國際龍頭企業相比尚有較大差距。隨著國內集成電路及電子特種氣體產業的發展，以及國內氣體企業進一步走向全球市場，專業化人才不足仍是制約產業發展的因素之一。

5、資質壁壘

工業氣體屬于危險化學品，在其生產、儲存、運輸、銷售等環節均需通過嚴格的資質認證，需要取得多項資質。資質審核過程嚴格，不僅需對企業的生產環境、工藝、設備等進行多次現場評估，還要求生產人員、管理人員均需通過相應測試并取得個人資質，資質獲取作為工業氣體行業生產經營的前置程序。除此以外，部分特定用途的特種氣體還需要另外經過專項嚴格審核才可取得相應用途的產品經營資質，例如食品級N2O的生產需取得《食品生產許可證》，標準氣業務需取得《制造計量器具許可證》等。

6、資金壁壘

電子特種氣體行業生產設施要求較大規模的固定資產投入，同時為了保證產品質量的穩定性，需要采用大量精密監測和控制設備。行業內企業在擴大業務規模的過程中，往往通過兼并收購的方式橫向布局，需要較強的資本實力。氣體供應商需要有專業的運輸設備和特種運輸車輛，還需要對運輸的全過程進行跟蹤監測和嚴格控制，由此帶來的運輸及監控設備投入也比較大。

五、產業鏈

1、行業產業鏈分析

電子特氣行業產業鏈上游主要為空氣、廢氣、氣體分離機、壓力容器等，在原材料選擇上，特種氣體的原料主要為外購的工業氣體和化學原材料，成本相對較高。設備主要分為氣體生產設備、氣體儲存設備和氣體運輸設備。氣體生產設備主要有空分設備和氣體提純設備，氣體儲存設備主要有鋼瓶和儲槽，氣體運輸設備主要有用液化氣槽車和管道。生產、存儲、運輸設備決定了氣體公司的品質與服務，很多電子特氣企業與上游形成了長期、定制的合作關系，也是電子特氣企業的核心壁壘之一。產業鏈的中游為電子特氣制造、運輸和儲存。電子特種氣體行業下游應用在集成電路、顯示面板、光伏與LED等電子產業的細分種類，占據電子特氣的較大比例。

電子特氣行業產業鏈

空氣

廢氣

氣體分離機

壓力容器設備

蘭州蘭石重型裝備股份有限公司

蘇州天沃科技股份有限公司

南京寶色股份公司

張家港富瑞特種裝備股份有限公司

四川科新機電股份有限公司

無錫化工裝備股份有限公司

甘肅藍科石化高新裝備股份有限公司

北京廣廈環能科技股份有限公司

上游

中船(邯鄲)派瑞特種氣體股份有限公司

江蘇南大光電材料股份有限公司

金宏氣體股份有限公司

廣東華特氣體股份有限公司

中游

集成電路

顯示面板

光伏

LED

下游

2、行業領先企業分析

（1）中船（邯鄲）派瑞特種氣體股份有限公司

中船（邯鄲）派瑞特種氣體股份有限公司是國內領先、世界知名的電子特氣和三氟甲磺酸系列產品供應商，致力于電子特氣的研發和產業化。公司的主營業務和產品起源于七一八所特氣工程部，是國內較早專門從事電子特種氣體研發及產業化的企業。經過多年持續創新和技術攻關，公司成功研發了50余種具有自主知識產權的產品，主要包括高純三氟化氮、高純六氟化鎢、高純氯化氫、高純氟化氫、高純四氟化硅、高純氘氣、高純六氟丁二烯、高純八氟環丁烷、高純電子混合氣等電子特種氣體，以及三氟甲磺酸、三氟甲磺酸酐、雙（三氟甲磺酰）亞胺鋰等含氟新材料，下游覆蓋集成電路、顯示面板、鋰電新能源、醫藥、光纖等行業。據統計，截至2023年中船特氣營業收入為16.16億元，同比下降17.39%，其中電子特氣業務收入為14.86億元，同比下降13.62%。

（2）江蘇雅克科技股份有限公司

江蘇雅克科技股份有限公司是一家主要致力于電子半導體材料，深冷復合材料以及塑料助劑材料研發和生產的高新技術企業，2018年通過收購成都科美特特種氣體有限公司切入特種氣體領域。2023年上半年，公司下屬子公司科美特繼續為臺積電、三星電子、Intel、中芯國際、海力士、京東方等業內頭部企業穩定批量供應產品。隨著國內一系列超大型特高壓輸變電項目的推進，科美特工業用六氟化硫產品銷量得到進一步提升。據統計，截至2023年雅克科技營業收入為47.38億元，同比增長11.24%，其中電子特氣業務收入為4.39億元，同比下降11.55%。

六、行業現狀

電子特氣細分種類多樣，用途廣泛，不同種類和純度的電子特氣適用于電子工業生產不同環節。按照功能劃分，電子特氣可以劃分為稀釋氣體、CVD氣體、蝕刻氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體等。按照下游需求劃分，電子特氣可以劃分為平板顯示用氣體、半導體用氣體、光伏用氣體和LED用氣體，終端產品涉及家電、電腦、芯片、太陽能等不同領域。據統計，截至2022年我國電子特氣行業市場規模為214.4億元，未來隨著全球半導體產業鏈不斷向國內轉移，將顯著拉動我國電子特氣需求，也將進一步加速電子特氣國產化進程。

七、發展因素

1、有利因素

（1）國家政策大力鼓勵電子特種氣體產業的發展

電子特氣行業屬于國家重點支持的行業，近年來我國先后推出了《原材料工業“三品”實施方案》《產業結構調整指導目錄（2024年本）》《工業戰略性新興產業分類目錄（2023）》《重點新材料首批次應用示范指導目錄（2024年版）》等，《產業結構調整指導目錄（2024年本）》將“信息產業-電子元器件生產專用材料：濕化學品、電子特氣、光刻膠等工藝與輔助材料等”列為鼓勵類。《工業戰略性新興產業分類目錄（2023）》將“專用化學品及材料制造-電子專用材料制造-電子特種氣體（應用于半導體、新型顯示、光伏太陽能電池、LED等電子器件生產的氣體，包括三氟化氮、六氟化鎢、笑氣、氨氣、一氧化碳等）”列為戰略性新興產業。

（2）集成電路、顯示面板等產業擴張帶動電子特種氣體需求強勁

隨著我國經濟由高速增長階段轉向高質量發展階段，高端制造業成為國家重點鼓勵發展的方向，整體市場規模快速增長。5G、人工智能、云計算等新一代信息技術的發展大幅增加了芯片、顯示面板等硬件的需求。近年來，國內晶圓廠處于密集擴產的周期，進而帶動了相關的上游原材料需求強勁增長。

（3）國產替代與國際化發展趨勢，為國內電子特種氣體企業帶來發展契機

自2018年以來，國際政治經濟環境復雜多變，貿易摩擦不斷升級，集成電路產業作為戰略發展的支柱產業，從設備、原材料等，深受影響，嚴重制約我國集成電路制造業的發展，自主可控的國產化替代發展之路勢在必行，上下游客戶廣泛共識。經過多年追趕，國內電子特種氣體企業在部分產品的生產上實現突破，成功進入集成電路制造產業鏈，具備了參與全球競爭的實力。我國集成電路制造用材料國產化程度的不高進一步推動提升電子特氣國產化替代水平，促進電子特氣企業國際化發展，從制約國民經濟發展的產業短板，向國際市場電子特氣長板發展，未來成長空間可期。

（4）產業配套逐步完善，產業價值愈發顯現

在國家政策的支持下，國內電子特氣產業初具規模，產業發展所需配套技術、原料、工程等越來越成熟，人才儲備和知識產權布局收效明顯，并得到客戶廣泛認可，這在根本上提高了客戶實現材料本地化發展的源動力和緊迫性，結合本地化物流、倉儲、服務等優勢，推動半導體產業可持續健康發展。國內半導體產業鏈的全方面發展，產業配置逐步完善，也有利于公司提升規模、人才和配套資源的集聚效應，促進產業合力發展。另一方面，集成電路制造技術節點推進，所帶來的材料指標要求提高，電子特種氣體材料多元化發展要求等，結合本地化發展需要，未來的市場空間和增長潛力巨大。

2、不利因素

（1）部分氣體品種仍有技術壁壘

集成電路工藝流程環節較多，不同環節需要搭配使用特定的電子特種氣體，各類電子特種氣體總體數量超過100種，其中大部分品種被國外壟斷，即使部分氣體用量較少，但也是集成電路生產中不可缺少的關鍵性材料。國內電子特種氣體企業整體發展時間較短，在產品種類、工藝水平、綜合服務能力等方面依然與國際巨頭有差距，而且這種差距很難在短期打破，需要一定時間的迭代試錯。由于半導體產線上原材料微小的誤差可能造成整條產線的損失，客戶的試錯成本很高，加大了國內企業進入新產品、新市場的難度。

（2）新產品研發的壓力

摩爾定律展現了半導體行業技術快速迭代更新的特點，各大芯片制造廠商持續投入大量研發費用，開發新的工藝，以保證產品性能的領先性。制程升級對電子特種氣體的純度和性能都提出了更高的要求，新開發的生產工藝也會產生新的原材料需求。因此，電子特種氣體企業始終面臨著技術更新和產品替代的風險，需保持足夠的研發強度，及時跟蹤下游行業的技術動態，將自身產品的技術發展路線與半導體工藝路線緊密結合，并且需不斷豐富產品種類，以抵御技術變更和產品替代風險。

（3）專業化人才不足制約產業發展

我國半導體產業起步較晚，雖然近年來發展速度和國產化進程加快，但相關產業的人才培養尚需時間。目前，電子特種氣體行業專業研發人才、具備半導體工藝服務和應急處理能力的人才、具備專業知識和國際化視野的市場營銷人才、具備專業管理理念和技能的人才等都相對缺乏。國內企業、高校、研究院所的基礎研究實力和產業化能力與國際龍頭企業相比尚有較大差距。隨著國內集成電路及電子特種氣體產業的發展，以及國內氣體企業進一步走向全球市場，專業化人才不足仍是制約產業發展的因素之一。

八、競爭格局

1、四巨頭主導國際氣體市場，競爭優勢較為明顯

目前，德國林德集團、法國液化空氣、美國空氣化工，和日本大陽日酸主導著全球電子特氣業務，形成了寡頭壟斷的格局。林德集團成立于1879年，2018年與普萊克斯合并后業務規模躍居首位，是全球領先的德國工業氣體公司，服務于化工、能源、食品飲料、電子、醫療保健、制造、金屬和采礦等終端市場，TGM服務體系位于領先地位。液化空氣公司1902年成立于法國巴黎，在75個國家擁有約66400名員工，并為380多萬客戶提供服務，為金屬、化工、煉油和能源等行業客戶提供氣體和能源解決方案。美國空氣化工成立于1940年，專注于服務能源、環境和新興市場，在液化天然氣技術和設備供應上處于領先地位，在全球電子行業高純度工藝氣體具有顯著的領先優勢。日本大陽日酸創立于1910年，是日本最大工業氣體制造商，為領先的半導體氣體供應商，廣泛應用于IC(集成電路)和存儲器(半導體存儲設備)、液晶、太陽能電池、LED和超精細機械結構。

2、國內企業技術不斷進步，國產替代逐漸加速

近年來我國電子、新能源等戰略新興產業規模快速增長，伴隨晶圓廠持續擴產，未來三年國內電子特氣需求將呈放量加速。隨著國家政策加大本土電子特氣產業支持力度，國內企業通過不斷積累經驗和攻克技術在部分產品上實現突破達到國際標準，具備了特種氣體國產替代的客觀條件，涌現出一批生產質量穩定的氣體廠商。目前國內電子特氣第一梯隊的廠商已經具備替代能力，在細分領域具有一定優勢，逐步縮小與國外龍頭的差距，加速實現國產替代。此外，隨著國內半導體需求提升及晶圓廠持續擴產，我國電子特種氣體行業生產廠商在取得技術突破的同時也積極進行產能提升。未來，隨著國內電子特種氣體廠商工藝技術能力持續提升及產能不斷擴充，將推動行業國產化率進一步提升。我國電子特氣產品將逐步實現進口替代，外資在華壟斷格局有望被打破。

九、行業趨勢

隨著先進技術節點的突破，工藝步驟的增加，市場對電子特種氣體在產品多元化服務、品質可靠性保證、及時高效物流服務等方面都提出更高要求。同時需要電子特種氣體企業從物流、倉儲、技術支持、分析控制、綜合性價比等方面提升綜合服務能力。未來，我國電子氣體企業需要整合行業內資源，持續研發投入，加大人才儲備，從規模、品牌、技術、產品、成本等多維度整合，夯實提升多維度競爭優勢，提升市場化綜合服務能力，將多元化需求與一站式服務結合，突破國外壟斷的電子特種氣體市場，逐漸發展成具有國際競爭力的電子特種氣體綜合服務供應商。未來我國電子特氣行業發展趨勢體現在高端產品需求增加、技術創新推動與環保要求提高三個方面。