一、市場規模

    集成電路是二十世紀人類科技史上最偉大的發明之一。以集成電路為代表產品的半導體產業作為當今信息產業的基礎和核心，在推動經濟發展、社會進步，提高人民生活水平以及保障國家安全等方面正發揮著日益重要的作用，已成為當前國際科技和產業競爭的焦點，也是衡量一個國家和地區現代化程度和綜合國力的重要標志。從人們日常生活中使用的各種家用電器到醫療衛生、工業農業、航天航海等各領域，都顯示了半導體器件的巨大作用，2020年全球半導體設備市場規模達711億美元，較2019年增加了113億美元，同比增長18.9%，未來將繼續保持增長，預計2022年全球半導體設備市場規模將達到1013億美元。

2014-2022年全球半導體設備市場規模統計及預測

資料來源：Semi、智研咨詢整理

    智研咨詢發布的《2021-2027年中國半導體檢測設備行業市場全景分析及發展趨勢研究報告》數據顯示：從中國市場來看，2020年中國大陸半導體設備市場規模達187.2億美元，較2019年增加了52.70億美元，同比增長39.2%。

2014-2020年中國大陸半導體設備市場規模統計及預測

資料來源：Semi、智研咨詢整理

    近年來中國大陸半導體設備市場規模占全球半導體設備市場規模的比例逐年攀升，2020年中國大陸半導體設備市場規模占全球半導體設備市場規模的26.33%，較2014年的11.73%增長了14.60%，半導體設備國產替代明顯。

2014-2020年中國大陸半導體設備市場規模占全球半導體設備市場規模的比例

資料來源：Semi、智研咨詢整理

    2020年國內半導體設備市場規模達187.2億美元，2021年約同比增長10%，測算2021年國內半導體前道檢測設備市場分別達到24.7億美元，約為160.6億元人民幣，前道測試設備市場空間超百億美元，未來采購需求有望大幅上修。

2021年中國半導體前道檢測設備市場規模占半導體設備市場規模的比例

資料來源：Semi、智研咨詢整理

    二、市場格局

    前道量測設備進一步細分為量測設備、缺陷檢測設備以及過程控制軟件，其中缺陷檢測設備占前道檢測設備的55%，占比最大；量測設備占前道檢測設備的34%；過程控制軟件占前道檢測設備的11%。

前道量測設備中各類設備占比

資料來源：Semi、智研咨詢整理

    進一步按產品細分，膜厚測量設備占比約12%；CD-SEM占比約12%；套刻誤差測量占比約9%；宏觀缺陷檢測占比約6%；有圖形晶圓檢測占比約34%；無圖形晶圓檢測占比約5%；電子束檢測占比約12%。

前道測試設備中各類設備占比

資料來源：Semi、智研咨詢整理

    前道檢測設備領域，KLA占52%的份額；AMAT占12%的份額；Hitachi占11%的份額；Nano占4%的份額；HemesMicrovison占3%的份額；Nava占2%的份額；場集中度較高，且基本被海外公司所壟斷。

全球前道量測/檢測設備市場競爭格局

資料來源：Gartner、智研咨詢整理

    KLA在檢測設備領域市占率有絕對優勢，在晶圓形貌檢測、無圖形晶圓檢測、有圖形晶圓檢測領域市占率分別達到85%、78%、72%，具有絕對壟斷優勢。

KLA在各個環節的市占率

資料來源：Gartner、智研咨詢整理

    三、國內重點廠商介紹

    國內量檢測領域目前主要參與公司有上海精測、上海睿勵、中科飛測、東方晶圓等，目前正在積極推出其產品線，推動國產量測設備發展。精測與睿勵主要聚焦于膜厚及OCD量測，已獲國內一線存儲廠商重復訂單，中科飛測產品以形貌測試為主，已進入國內多家生產線，如中芯國際、長江存儲、士蘭微等，東方晶源主要攻克EBI和CD-SEM，目前產品也已實現交付，填補了我國空缺的關鍵領域。

國內半導體量檢測領域主要參與企業業務布局

資料來源：智研咨詢整理