內容概要：隨著5G、物聯網、人工智能等領域的快速發展，對高性能、高質量芯片的需求不斷增長，而芯片制造過程中的各個環節都需要高精度的AOI檢測設備來保證產品質量，為AOI檢測設備行業帶來了廣闊的市場空間。同時，隨著3D封裝技術的不斷發展，晶圓制造過程中的檢測需求日益增加，3D晶圓AOI檢測設備能夠滿足更高精度的檢測要求，進一步推動了半導體AOI檢測設備行業的發展。數據顯示，2023年我國半導體AOI檢測設備行業市場規模為46.8億元。其中進口規模占比為85%，國產規模占比為15%。

上市企業：矩子科技（300802）、精測電子（300567）、勁拓股份（300400）、天準科技（688003）、華興源創（688001）、中科飛測（688361）等

關鍵詞：半導體AOI檢測設備、半導體設備、AOI、半導體AOI檢測設備市場規模、半導體AOI檢測設備產量、半導體AOI檢測設備需求量

一、概述

AOI的全稱是自動光學檢測，是基于光學原理來對制造生產中遇到的常見缺陷進行檢測的設備。AOI檢測被廣泛應用于PCB、顯示面板、半導體芯片等電子元器件領域，不同領域的檢測精度和檢測需求各有不同，因此檢測的技術方案也各不相同。在半導體封測領域，光學檢測AOI一般分為四道光檢，第一道光檢是晶圓檢測，第二道光檢是顆粒外觀缺陷檢測，第三道光檢貼片/引線鍵合檢測，第四道光檢是塑封外觀檢測。

半導體AOI檢測設備按上板作業方式不同可分為在線式和離線式兩種：1）離線式AOI檢測設備。不連接在SMT生產線中，由人工作業放板，成本低；2）在線式AOI檢測設備。主要用于SMT生產線在線全自動檢測，不需要人工作業，而且可以實現整條SMT生產線的品質數據共享及自動工藝優化，全面提升SMT生產線的生產品質。

二、行業政策

近些年來，為積極推進半導體設備產業的突破，我國陸續發布了許多政策，如2021年工業和信息化部發布的《“十四五”信息化和工業化深度融合發展規劃》提出發展跨行業跨領域綜合型平臺。建設覆蓋原材料、裝備制造、消費品、電子信息等多個行業以及研發設計、生產制造、運維服務等多個領域的綜合型平臺，提供工業資源集聚共享、工業數據集成利用、工業生產與服務優化創新等服務。

相關報告：智研咨詢發布的《中國半導體AOI檢測設備行業市場競爭態勢及投資前景研判報告》

三、產業鏈

從產業鏈方面來看，半導體AOI檢測設備行業上游主要涉及運動與控制系統類、相機、機械加工件和電氣類等核心零部件及軟件算法等；中游為半導體AOI檢測設備制造企業；下游面向半導體檢測行業，主要有分立器件、集成電路以及其他器件。

作為支撐經濟發展和保障國家安全的戰略性、基礎性和先導性產業，我國集成電路行業隨著中國經濟總量的提升而快速發展，并已成為全球集成電路產業的重要市場之一。在我國集成電路產業國產替代的持續推進，以及新基建、信息化、數字化的持續發展的推動下，我國集成電路行業快速發展，產量規模也隨之持續擴張。數據顯示，2024年我國集成電路產量為4514.23億塊。

四、發展現狀

隨著5G、物聯網、人工智能等領域的快速發展，對高性能、高質量芯片的需求不斷增長，而芯片制造過程中的各個環節都需要高精度的AOI檢測設備來保證產品質量，為AOI檢測設備行業帶來了廣闊的市場空間。同時，隨著3D封裝技術的不斷發展，晶圓制造過程中的檢測需求日益增加，3D晶圓AOI檢測設備能夠滿足更高精度的檢測要求，進一步推動了半導體AOI檢測設備行業的發展。數據顯示，2023年我國半導體AOI檢測設備行業市場規模為46.8億元。其中進口規模占比為85%，國產規模占比為15%。

從行業供需方面來看，隨著半導體行業的快速發展，其對AOI檢測設備的需求不斷增加，同時，在國內技術水平的提升及越來越多的企業進入行業，我國半導體AOI檢測設備供給規模也隨之不斷擴張。數據顯示，2023年我國半導體AOI檢測設備產量為0.16萬臺套，需求量為0.75萬臺套。

五、競爭格局

隨著半導體產業的快速發展和對檢測設備需求的增加，越來越多的企業進入到該行業。總體來看，我國半導體AOI檢測設備市場份額主要被Camtek、Rudolph等國外企業所占據，占比約85%左右。國內市場方面，近年來在國內市場，涌現出了一批優秀的企業，如矩子科技、勁拓股份、天準科技、上海精測、中科飛測、長川科技、景焱智能等。同時，還有許多中小企業也在不斷地進入該行業，試圖在市場中分得一杯羹。

六、發展趨勢

算法逐步精確化。檢測的最終目的都是排除不良件，同時需要減少誤判提高檢測的準確性。在這一過程中，對算法的依賴非常大，算法的精確程度直接決定了檢測結果的準確性。檢測結果的精確要求促使和推動了算法的發展和提高，同時AOI檢測算法也會逐漸從平面檢測走向高精度攝像頭的立體成像并形成“立體算法”。

技術向3D、智能化方向發展。目前，我們使用的AOI是2D系統，而與現在的2D AOI相比，使用3D技術可以覆蓋2D以外的范圍，因為2D只有X/Y，檢測平面信息，而3D有X/Y/Z3個空間軸，可以實現三維檢測，即使2D AOI平臺可以通過其他技術手段實現檢測。然而，要么誤判很高，要么漏測飆升，這是有一定局限性的。3D AOI技術可以更好地平衡誤判和漏檢的中間值，達到更好的檢測效果。

以上數據及信息可參考智研咨詢（www.szxuejia.com）發布的《中國半導體AOI檢測設備行業市場競爭態勢及投資前景研判報告》。智研咨詢是中國領先產業咨詢機構，提供深度產業研究報告、商業計劃書、可行性研究報告及定制服務等一站式產業咨詢服務。您可以關注【智研咨詢】公眾號，每天及時掌握更多行業動態。