內容概況：隨著國內集成電路產業的快速發展，對刻蝕設備的需求將繼續增加，預計未來幾年中國刻蝕設備市場規模還將繼續保持增長態勢。具體而言，2022年我國刻蝕設備行業市場規模342.41億元，其中，介質刻蝕設備173.23億元；硅刻蝕設備156.03億元；金屬刻蝕設備13.15億元。

關鍵詞：刻蝕設備市場規模 刻蝕設備主要企業 刻蝕設備成本 刻蝕設備產業鏈

一、刻蝕設備產業發展概述

刻蝕是指通過溶液、離子等方式剝離移除如硅、金屬材料、介質材料等晶圓表面材料，從而達到集成電路芯片結構設計要求的一種工藝流程。刻蝕工藝分為干法刻蝕和濕法刻蝕，目前應用主要以干法刻蝕為主，市場占比90%以上。濕法刻蝕在小尺寸及復雜結構應用中具有局限性，目前主要用于干法刻蝕后殘留物的清洗。濕法刻蝕可分為化學刻蝕和電解刻蝕。根據作用原理，干法刻蝕可分為物理刻蝕(離子銑刻蝕)和化學刻蝕(等離子刻蝕)。根據被刻蝕的材料類型，干法刻蝕則可分為金屬刻蝕、介質刻蝕與硅刻蝕。ICP 與CCP 是應用最為廣泛的刻蝕設備。

二、刻蝕設備行業政策背景

隨著國內集成電路產業的快速發展，對刻蝕設備的需求越來越大。近些年來，為積極推進半導體設備產業的突破，我國陸續發布了許多國家和地方政策，如2023年1月內蒙古自治區人民政府《關于加快推進數字經濟發展若干政策的通知》支持電子信息制造業發展，服務器及數據中心相關設備、半導體、通信設備、智能終端、消費電子產品、傳感器、光電、顯示、電子專用裝備及關鍵電子材料、零部件、元器件等列入自治區數字經濟重點項目名單。在政策支持和市場需求推動下，國內刻蝕設備企業將加速實現國產替代，提高國產設備的市場占有率和技術水平。刻蝕設備行業技術研發趨勢將圍繞提高加工速度和精度、適應新材料加工、綠色環保、智能制造和國產替代等方面展開。未來，隨著市場需求和技術進步的不斷推動，該行業的技術創新還將繼續加速發展。

三、刻蝕設備行業產業鏈

刻蝕設備在半導體制造領域中具有廣泛的應用。在半導體制程中，刻蝕設備主要用于將光刻技術產生的電路圖從半導體材料上轉移到目標芯片上。具體來說，刻蝕設備通過物理或化學方法將電路圖從光刻膠上轉移到半導體材料上，然后去除光刻膠，最終得到所需的電路圖形。刻蝕設備上游成本包括直接材料、直接人工和制造費用。其中直接材料成本就是機械類、電氣類、真空系統類、傳感器類、儀器儀表類、氣動系統類等部件成本，占比最大，占整體成本的88%，中游主要是刻蝕設備的生產和制備，下游主要是應用半導體領域，終端應用于消費電子、工業自動化、智能家居、物聯網、能源電力等

在刻蝕設備原材料方面，主要包括機械類、電氣類、真空系統類、傳感器類、儀器儀表類、氣動系統類等部件。這些原材料的質量和性能對刻蝕設備的性能和穩定性有著重要影響。中國在原材料供應方面具備一定的優勢，部分企業已經具備了較高水平的制造能力，能夠提供高質量的刻蝕設備原材料。其中直接材料成本就是機械類、電氣類、真空系統類、傳感器類、儀器儀表類、氣動系統類等部件成本，占比最大，占整體成本的88%。

四、刻蝕設備產業發展現狀

隨著集成電路行業的不斷發展，集成電路制造產業對于刻蝕工藝的復雜度要求不斷上升，刻蝕技術也在不斷地演進：主要運用設備已從只能進行有限控制的圓筒式刻蝕機，發展至集成刻蝕參數控制軟件的現代等離子體刻蝕機。數據顯示，2020年全球刻蝕設備市場規模142.38億美元，2022年增至215.28億美元。細分區域結構來看，2022年韓國刻蝕設備市場規模45.17億美元，占全球比重達20.98%；中國刻蝕設備市場規模50.91億美元，占比23.65%；中國臺灣刻蝕設備市場規模56.32億美元，占比26.16%。

相關報告：智研咨詢發布的《中國刻蝕設備行業市場供需態勢及發展前景研判報告》

中國刻蝕設備行業的市場規模在不斷擴大。根據數據，中國半導體設備市場規模在2022年已經達到了1630.52億元，其中刻蝕設備占據了相當大的比例。隨著國內集成電路產業的快速發展，對刻蝕設備的需求將繼續增加，預計未來幾年中國刻蝕設備市場規模還將繼續保持增長態勢。具體而言，2022年我國刻蝕設備行業市場規模342.41億元，其中，介質刻蝕設備173.23億元；硅刻蝕設備156.03億元；金屬刻蝕設備13.15億元。

五、刻蝕設備產業企業競爭

半導體刻蝕設備市場主要由美日廠商主導。半導體刻蝕設備領域長期由海外龍頭壟斷，根據中商情報網統計，全球刻蝕企業前三大分別是泛林半導體（Lam Research）、東京電子（TEL）、應用材料（AMAT），全球市占率合計近9成其中泛林半導體以超4成以上的市場份額遙遙領先，東京電子和應用材料則分別占據3成和2成的市場份額。中國大陸刻蝕設備供應商份額有限，中微公司和北方華創分別占據約1%的市場份額，國產刻蝕設備具有廣闊的進口替代空間。

六、刻蝕設備產業發展趨勢

我國刻蝕設備國產化發展趨勢強勁。隨著半導體產業的高速發展，國內廠商在刻蝕設備領域取得了顯著突破，技術水平不斷提升，正逐步實現從進口依賴到自主可控的轉變。未來，隨著技術創新的推動和產業政策的支持，國產刻蝕設備將在市場中占據更大份額，加速推動我國半導體產業的自主可控進程。

我國刻蝕設備國產化需求增長趨勢顯著。隨著半導體工藝技術的不斷進步和產業規模的持續擴大，國內市場對刻蝕設備的需求呈現出快速增長的態勢。同時，為了降低生產成本、提高產能和保障供應鏈安全，越來越多的國內半導體企業開始傾向于采購國產刻蝕設備，為國內刻蝕設備廠商提供了廣闊的市場機遇和發展空間。

以上數據及信息可參考智研咨詢（www.szxuejia.com）發布的《中國刻蝕設備行業市場供需態勢及發展前景研判報告》。智研咨詢是中國領先產業咨詢機構，提供深度產業研究報告、商業計劃書、可行性研究報告及定制服務等一站式產業咨詢服務。您可以關注【智研咨詢】公眾號，每天及時掌握更多行業動態。