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刻蝕設備

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2023年中國刻蝕設備行業發展現狀:政府推動技術發展,國產刻進口替代空間廣闊[圖]

隨著國內集成電路產業的快速發展,對刻蝕設備的需求將繼續增加,預計未來幾年中國刻蝕設備市場規模還將繼續保持增長態勢。具體而言,2022年我國刻蝕設備行業市場規模342.41億元,其中,介質刻蝕設備173.23億元;硅刻蝕設備156.03億元;金屬刻蝕設備13.15億元。

智研觀點 2024-02-21

2022年中國刻蝕設備行業全景速覽:國產替代前景廣闊[圖]

刻蝕是用化學、物理、化學物理結合的方法有選擇的去除(光刻膠)開口下方的材料。利用光刻膠等材料作為掩蔽層,通過物理、化學方法將下層材料中沒有被上層遮蔽層材料遮蔽的地方去掉,從而在下層材料上獲得與掩膜板圖形對應的圖形。分為濕法刻蝕和干法刻蝕兩大類,被刻蝕的材料包括硅、介質材料、金屬材料、光刻膠等。

智研觀點 2022-12-06
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