1月19日晚間，晶瑞股份發布公告稱，經公司多方協商、積極運作，順利購得ASML XT 1900Gi型光刻機一臺。該設備于2021年1月19日運抵蘇州并成功搬入公司高端光刻膠研發實驗室。下一步，公司將積極組織相關資源，盡快完成設備的安裝調試工作。

    該型號光刻機可用于研發最高分辨率達28nm的高端光刻膠。該型號光刻機為十年前的產品，本是中國第一批浸沒式光刻機，由無錫SK海力士購入。不過之后由于SK海力士工廠起火，更換了制程，這些設備又被運到韓國。現在，其中一臺設備又被晶瑞股份購得。

蘇州晶瑞化學股份有限公司關于購買光刻機設備進展情況的公告

資料來源：公司官網、智研咨詢整理

    蘇州晶瑞化學股份有限公司量產光刻膠近30年，組建了國內領先的光刻膠研發團隊，具有豐富的光刻膠研發和生產經驗，先后承擔了國家“85”攻關、“863”重大專項、科技部創新基金等科技項目、承擔了國家02重大專項“i線光刻膠產品開發及產業化”項目，并順利通過國家02重大專項驗收。

    2019年晶瑞股份營業收入為7.56億元，利潤總額為0.46億元；2020年前三季度晶瑞股份營業收入為7.14億元，利潤總額為0.77億元。

2015-2020年前三季度晶瑞股份營業收入及利潤總額

資料來源：公司官網、智研咨詢整理

    公司完成中試的KrF光刻膠已進入客戶測試階段，達到0.15μm的分辨率。本次購買的ASML光刻機設備系公司集成電路制造用高端光刻膠研發項目的必要實驗設備，旨在研發出更高端的ArF光刻膠，若研發工作進展順利，將有助于公司將光刻膠產品序列實現到ArF光刻膠的跨越，并最終實現應用于12英寸芯片制造的戰略布局。