內容概要：涂膠顯影設備（Track）是光刻工序中與光刻機配套使用的涂膠、顯影及烘烤設備。國內涂膠顯影設備企業在核心零部件，對國外供應商的依賴程度較高。近幾年，國內涂膠顯影設備生產企業在技術上取得進展，涂膠顯影設備產值快速增長，從2017年的1.65億元增長到了2024年的18.26億元，預計2025年涂膠顯影設備產值有望增長至21.6億元。作為光刻機的“重要搭檔”，涂膠顯影設備應用領域廣闊，現已廣泛應用于集成電路等先進制造領域。2024年我國涂膠顯影設備市場需求量從2017年的371臺套增長到1775臺套，市場規模從2017年的20.05億元增長到125.9億元；預計2025年我國涂膠顯影設備市場需求量將達到2025臺套，市場規模將達到143.74億元。隨著消費者對半導體和液晶顯示器等電子產品需求的不斷增加，為涂膠顯影設備行業帶來了廣闊的市場空間。

上市企業：芯源微(688037)、盛美上海（688082?）

相關企業：蘇州桔云科技有限公司、邁睿捷（南京）半導體科技有限公司、中國臺灣億力鑫（ELS）、日本東京電子、日本迪恩士、德國蘇斯微、中國臺灣億力鑫、韓國CND等

關鍵詞：涂膠顯影設備市場規模、涂膠顯影設備市場競爭格局、涂膠顯影設備產業鏈、涂膠顯影設備代表企業、涂膠顯影設備產量、涂膠顯影設備需求量、涂膠顯影設備行業發展前景

一、涂膠顯影設備行業定義及分類

涂膠顯影設備（Track）是光刻工序中與光刻機配套使用的涂膠、顯影及烘烤設備，包括涂膠機（又稱涂布機、勻膠機）、噴膠機（適用于不規則表面晶圓的光刻膠涂覆）和顯影機。按設備類型可以分為涂膠機、噴膠機、顯影機；按應用環節可以分為前道設備、后道設備；按技術節點可以分為KrF及以下節點類、ArF類、其他先進節點類。

二、涂膠顯影設備行業發展現狀

國內涂膠顯影設備企業在核心零部件，如高端傳感器、精密機械部件等方面，對國外供應商的依賴程度較高。近幾年，國內涂膠顯影設備生產企業在技術上取得進展，涂膠顯影設備產值快速增長，從2017年的1.65億元增長到了2024年的18.26億元，預計2025年涂膠顯影設備產值有望增長至21.6億元。

作為光刻機的“重要搭檔”，涂膠顯影設備應用領域廣闊，現已廣泛應用于集成電路、OLED、LED、化合物半導體&功率器件等先進制造領域。2024年我國涂膠顯影設備市場需求量從2017年的371臺套增長到1775臺套，市場規模從2017年的20.05億元增長到125.9億元；預計2025年我國涂膠顯影設備市場需求量將達到2025臺套，市場規模將達到143.74億元。

相關報告：智研咨詢發布的《中國涂膠顯影設備行業市場發展態勢及產業前景研判報告》

三、涂膠顯影設備行業產業鏈

1、涂膠顯影設備行業產業鏈結構

涂膠顯影設備行業產業鏈上游包括傳感器、有色金屬、電子元件、過濾器、儀器儀表及其他等原材料；行業中游為涂膠顯影設備生產制造；行業下游主要應用于半導體領域，既用于半導體晶圓制造（光刻環節），也用于半導體封測（涂膠、顯影環節）、OLED制造（光刻環節）。

2、涂膠顯影設備行業產業鏈上游-有色金屬

有色金屬作為設備制造業的重要原材料，其市場需求與設備更新周期緊密相連。2024年，我國有色金屬行業實現銷售收入86019.1億元，較2023年增長10433.2億元，利潤總額為3320.9億元，較2023年增長390.4億元。預計2025年，受全球經濟逐步恢復和新興產業增長拉動影響，我國有色金屬行業有望延續良好運行態勢。

3、涂膠顯影設備行業產業鏈下游-半導體

涂膠顯影設備是在半導體光刻工序中和光刻機配套使用的機器，主要起到涂膠、烘烤和顯影的作用。作為光刻機的“重要搭檔”，涂膠顯影設備廣泛應用于集成電路、OLED、LED、化合物半導體&功率器件等先進制造領域。半導體涂膠顯影設備是集成電路制造過程中不可或缺的關鍵處理設備，它的性能和質量對于半導體產品的制造和性能具有重要影響。

半導體，指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料。半導體產業是信息技術產業的核心，是支撐經濟社會發展和保障國家安全的戰略性、基礎性和先導性產業，其技術水平和發展規模已成為衡量一個國家產業競爭力和綜合國力的重要標志之一。作為“工業糧食”，半導體芯片被廣泛地應用于計算機、消費類電子、網絡通信、汽車電子、物聯網等產業，是絕大多數電子設備的核心組成部分。2023年我國半導體產業市場規模從2015年的26385.73億元增長至46875.97億元。

四、涂膠顯影設備行業競爭格局

1、主要企業

半導體設備行業具有高度技術密集、資本密集和寡頭壟斷的特征。涂膠顯影設備作為前道核心設備之一，與光刻機聯機作業，技術復雜度極高，長期以來被日本東京電子（TEL）壟斷。國內廠商起步相對較晚，技術積累不足，但在國產替代政策的推動以及下游晶圓廠擴產需求的刺激下，國內企業積極投入研發，努力突破技術瓶頸，逐步在市場中嶄露頭角，市場份額也在逐步提高。

目前，國內涂膠顯影設備主要企業包括沈陽芯源微電子設備股份有限公司、盛美半導體設備（上海）股份有限公司、蘇州桔云科技有限公司、邁睿捷（南京）半導體科技有限公司、中國臺灣億力鑫（ELS）等。

2、代表企業

1）、沈陽芯源微電子設備股份有限公司

芯源微電子主要從事半導體專用設備的研發、生產和銷售，產品主要包括光刻工序涂膠顯影設備、單片式濕法設備，是國內涂膠顯影、單片式濕法設備龍頭，是國內唯一可以提供量產型前道涂膠顯影機的廠商。目前芯源微電子已成功推出offline、I-line、KrF及ArF浸沒式等多種型號涂膠顯影設備，已陸續獲得多個前道大客戶訂單及應用，下游客戶覆蓋邏輯、存儲、功率器件及其他特種工藝等多家國內廠商。據統計，2023年，芯源微電子涂膠顯影設備產量171臺套，銷量225臺套，實現業務收入106603.5萬元。

2）、日本東京電子

日本東京電子是日本最大的半導體設備制造商。TEL主營業務包含半導體生產設備（SPE）和平板顯示制造設備（FPD），FY24SPE收入占比在95%以上。SPE產品包括涂膠顯影設備、熱處理設備、干法刻蝕設備、薄膜沉積設備（管式CVD、非管式LPCVD、PVD、ALD）、濕法清洗設備、測試設備等，幾乎覆蓋了半導體制造的全部流程；FPD產品主要是涂膠顯影設備和等離子刻蝕/灰化設備。據統計，2024財年，日本東京電子營業收入為1830527百萬日元，毛利830270百萬日元，收入、毛利較2023年同期下滑明顯。

五、涂膠顯影設備行業發展趨勢

涂膠顯影設備作為半導體制造工藝中的關鍵設備，其市場需求隨著半導體產業的蓬勃發展而持續增長。隨著國內涂膠顯影設備企業在技術研發、產品質量和市場份額方面取得了顯著進展，國產替代步伐的加快，國內企業有望打破國外廠商的壟斷地位。

半導體智能制造的推進使得涂膠顯影設備不斷向智能化方向發展。隨著國內企業技術水平的提升和市場份額的逐步擴大，國產涂膠顯影設備的供給能力將不斷增強。同時，智能制造和工業互聯網技術的深入應用也將加速顯影設備行業的智能化和自動化升級，提高生產效率和質量穩定性。這些因素將有助于提升國產涂膠顯影設備的供給能力和市場競爭力。

全球經濟的逐步復蘇和科技產業的快速發展為涂膠顯影設備行業提供了穩定且持續增長的市場需求。隨著消費者對半導體和液晶顯示器等電子產品需求的不斷增加，這些產品的制造企業對涂膠顯影設備的需求也將隨之上升。這不僅為涂膠顯影設備行業帶來了廣闊的市場空間。

以上數據及信息可參考智研咨詢（www.szxuejia.com）發布的《中國涂膠顯影設備行業市場發展態勢及產業前景研判報告》。智研咨詢是中國領先產業咨詢機構，提供深度產業研究報告、商業計劃書、可行性研究報告及定制服務等一站式產業咨詢服務。您可以關注【智研咨詢】公眾號，每天及時掌握更多行業動態。