一、中國氟化工產業發展情況

氟化工產品是指含氟化學品的制造與開發，氟化工產品是一種新型的化工材料，因其產品的高附加值和高性能而被譽為“黃金”產業。氟化工產品按其分子結構和性能不同，可劃分為含氟單體、有機氟化物和無機氟化物。

氟化工分類

資料來源：智研咨詢整理

據測算，2016-2021年中國氟化工行業市場規模逐年上升，2021年市場規模大約為665億元。綜合來看，氟化工行業年均復合增長率為22.1%，這主要得益于下游空調制冷系統和新能源汽車行業對于氫氟酸和六氟磷酸鋰的需求十分旺盛。

2016-2021年中國氟化工行業市場規模走勢

資料來源：智研咨詢整理

二、三氟化氮（NF3）概述

三氟化氮（NF3）是無機氟化物的一種，在常溫下是一種無色、無味、性質相對穩定的氣體，是電子工業中優良的等離子蝕刻氣體和反應腔清洗劑，可單獨或與其它氣體組合用作等離子體工藝的蝕刻氣體，例如 NF3、NF3/Ar、NF3/He 用于硅化合物 MoSi2的蝕刻；NF3/CCl4、NF3/HCl 既用于 MoSi2的蝕刻，也可用于 NbSi2的蝕刻。

三氟化氮理化性質分析

三、中國三氟化氮（NF3）行業生產銷售情況

無機氟化工行業被稱為“黃金”產業，在國民經濟和社會發展中起著重要作用，技術資本密集，產業相關性高，對相關產業升級起著決定性作用。無機氟化物分為如下大類：含氟電子化學品、鋁用氟化鹽、特種氟化物氣體（如：三氟化氮）等。

本文內容摘自智研咨詢發布的《2022-2028年中國三氟化氮行業市場運行格局及發展策略分析報告》

據統計，2015年我國三氟化氮產量在2887.3噸左右，2021年產量增長至15317.1噸，2015-2021年實現年均復合增速32.06%。

2015-2021年中國三氟化氮行業產量

資料來源：智研咨詢整理

國內三氟化氮產業發展迅速，2015年我國三氟化氮進口901.7噸，出口203.6噸，產品供不應求；2019年我國三氟化氮產品出口數量首次超過進口，到2021年出口量達到1999噸。

2015-2021年我國三氟化氮行業進出口情況

資料來源：中國海關、智研咨詢整理

根據數據匯總，2021年我國三氟化氮產量15317.1噸，進口1022.4噸，出口1999噸，測算2021年我國三氟化氮行業需求量達到14340.5噸。

2015-2021年中國三氟化氮行業需求量

資料來源：智研咨詢整理

四、中國三氟化氮（NF3）應用領域及市場結構

三氟化氮作為微電子工業中優良的等離子體蝕刻氣體，可裂解成活性氟離子，對硅和鎢化合物具有優異的蝕刻速率和選擇性。在蝕刻表面上，它可以不留下任何殘留物，是一種非常好的清洗劑，能對生產設備腔體的清洗起到很好的作用，在芯片制造、高能激光領域已經獲得大量使用。

三氟化氮主要應用領域

資料來源：智研咨詢整理

2021年三氟化氮在不同領域的應用占比

資料來源：智研咨詢整理

三氟化氮是電子特氣中用量最大的品種，目前對三氟化氮需求拉動最大的是半導體產業和面板產業。半導體產業方面，中國半導體行業協會數據顯示，2021年中國集成電路產業銷售額為10458.3億元,同比增長18.2%，且全球集成電路制造正持續向中國大陸轉移。面板產業方面，中國大陸已成為全球最大的面板生產地。三氟化氮，作為面板和半導體生產加工過程中的特種氣體，具有廣闊的市場空間。隨著高世代面板生產線的生產和半導體生產工藝的改進，需要更多的光罩層數和清洗頻率，三氟化氮需求的增長率將高于面板和晶圓產能的增長速度。

五、中國三氟化氮（NF3）行業企業競爭格局

目前，中船重工718所、南大光電、昊華科技等國內廠家已成為全球三氟化氮生產的重要力量，其中718所是國內產能最大的三氟化氮企業。隨著各企業逐步投產，國內三氟化氮即將進入產能釋放期，中國企業也有望進一步提升全球市場的參與度。

2021年我國部分企業三氟化氮產能統計

資料來源：公司公告、智研咨詢整理

以昊華科技公司為例，2017年公司三氟化氮產量1078噸，2021年產量增長至2542噸，2017-2021年公司的產量份額保持在16-22%左右。

2017-2021年昊華科技公司三氟化氮生產銷售情況

資料來源：公司公告、智研咨詢整理

2017-2021年昊華科技公司三氟化氮產量份額

資料來源：公司公告、智研咨詢整理

近年來，隨著一些高新技術產業生產重心東移和國家政策的大力支持，我國電子信息技術產業發展迅速，市場對三氟化氮的需求迅速增加。同時，隨著國內企業創新研發能力的提高，三氟化氮行業的相關企業有望突破國界，開啟海外市場銷售的新局面。

六、三氟化氮行業發展前景

三氟化氮是面板、半導體生產過程中不可或缺、用量大的特殊電子氣體，市場前景十分看好。2021年11月中國工業氣體工業協會發布《中國氣體行業“十四五”發展指南》，提出了“十四五”期間氣體行業發展的五項重點任務：一是立足國內大循環，推動國內國際雙循環發展；二是實施創新驅動戰略，大幅提升創新能力；三是推進數字化、智能化轉型發展戰略，搭建行業數字化、智能化平臺；四是推進人才強企戰略，提升企業管理水平；五是優化產業結構，提升產業鏈供應鏈現代化水平。今后半導體集成電路方面的自主研發及產業化將得到大力推動，未來將形成對國產化高純含氟氣體材料需求。隨著我國自主可控戰略下對半導體材料的政策支持，電子特氣進口替代迎來發展機遇。

2022-2028年中國三氟化氮行業需求量預測

資料來源：智研咨詢整理

以上數據及信息可參考智研咨詢（www.szxuejia.com）發布的《2022-2028年中國三氟化氮行業市場運行格局及發展策略分析報告》。智研咨詢是中國領先產業咨詢機構，提供深度產業研究報告、商業計劃書、可行性研究報告及定制服務等一站式產業咨詢服務。您可以關注【智研咨詢】公眾號，每天及時掌握更多行業動態。