刻蝕機-產業百科

刻蝕機是一種用于制造微細結構的設備，常見于半導體、光學和電子工業中。刻蝕機通過將化學反應物和物理能量相結合，去除材料表面的一部分，從而創建所需的微細結構。刻蝕機主要分為濕法刻蝕機和干法刻蝕機，其中，濕法刻蝕機分為化學刻蝕機和電解刻蝕機；干法刻蝕機分為離子銑刻蝕機、等離子刻蝕機和反應離子刻蝕機。目前中國刻蝕機的國產化率正在逐步提高。雖然總體核心半導體產業設備國產化率不足10%，但是刻蝕機領域的國產化率約為20%。刻蝕機是我國最具優勢的半導體設備領域，也是國產替代占比最高的重要半導體設備之一。不斷發生的半導體貿易限制事件，讓刻蝕機等半導體設備的戰略重要性凸顯，未來刻蝕機的國產替代有望加快。