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MEMS傳感器

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2025年中國MEMS傳感器行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈、市場(chǎng)規(guī)模、重點(diǎn)企業(yè)及未來趨勢(shì)研判:MEMS傳感器工藝逐漸成熟,國產(chǎn)替代前景廣闊[圖]

MEMS傳感器是基于微機(jī)電系統(tǒng)的典型傳感器件。它是指可以批量制造的,集微結(jié)構(gòu)、微傳感器、微執(zhí)行器以及信號(hào)處理和控制電路于一體的器件或系統(tǒng)。其特征尺寸一般在0.1m~100m范圍。MEMS集成了當(dāng)今科學(xué)技術(shù)的許多尖端成果,它將感知信息處理與執(zhí)行機(jī)構(gòu)相結(jié)合,改變了人類感知和控制外部世界的方式。與傳統(tǒng)的機(jī)械傳感器相比,MEMS傳感器具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實(shí)現(xiàn)智能化等特點(diǎn)。在微米量級(jí)的特征尺寸MEMS傳感器可以完成某些傳統(tǒng)機(jī)械傳感器所不能實(shí)現(xiàn)的功能。

智研觀點(diǎn) 2024-11-27

2022年中國MEMS傳感器行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈情況分析:行業(yè)規(guī)模持續(xù)擴(kuò)張[圖]

一般來講,大部分MEMS壓力傳感器的敏感元件是硅膜片,按照不同的敏感機(jī)理,MEMS壓力傳感器可以分為電容式壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器以及諧振式壓力傳感器。目前汽車上的壓力傳感器有很多:歧管壓力測(cè)量,用來控制空燃比,控制廢棄循環(huán)等;大氣壓測(cè)量,用來修正空燃比;氣缸內(nèi)氣測(cè)量,用來控制爆震;燃油噴射壓力測(cè)量;充氣壓力測(cè)量,

智研觀點(diǎn) 2023-03-04
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