第1章薄膜沉積設備行業綜述及數據來源說明

1.1 半導體設備分類及重要性

1.1.1 半導體設備行業界定與分類

1.1.2 半導體設備在半導體產業鏈中的重要性分析

1.1.3 《國民經濟行業分類與代碼》中半導體設備行業歸屬

1.2 薄膜沉積設備行業界定

1.2.1 薄膜沉積設備的界定

（1）薄膜沉積概念

（2）薄膜沉積工作原理

（3）薄膜沉積是半導體工藝三大核心步驟之一

1.2.2 薄膜沉積技術分類及對應設備

（1）原子層沉積（Atomic Layer Deposition， ALD）——ALD設備

（2）化學氣相沉積（Chemical Vapor Deposition，CVD）——CVD設備

（3）物理氣相沉積（Physical Vapor Deposition，PVD）——PVD設備

（4）其他

1.3 薄膜沉積設備專業術語說明

1.4 本報告研究范圍界定說明

1.5 本報告數據來源及統計標準說明

1.5.1 本報告權威數據來源

1.5.2 本報告研究方法及統計標準說明

第2章中國薄膜沉積設備行業宏觀環境分析（PEST）

2.1 中國薄膜沉積設備行業政策（Policy）環境分析

2.1.1 中國薄膜沉積設備行業監管體系及機構介紹

（1）中國薄膜沉積設備行業主管部門

（2）中國薄膜沉積設備行業自律組織

2.1.2 中國薄膜沉積設備行業標準體系建設現狀

（1）中國薄膜沉積設備現行標準匯總

（2）中國薄膜沉積設備重點標準解讀

2.1.3 國家層面薄膜沉積設備行業政策規劃匯總及解讀

（1）國家層面薄膜沉積設備行業政策匯總及解讀

（2）國家層面薄膜沉積設備行業規劃匯總及解讀

2.1.4 31省市薄膜沉積設備行業政策規劃匯總及解讀

（1）31省市薄膜沉積設備行業政策規劃匯總

（2）31省市薄膜沉積設備行業發展目標解讀

2.1.5 國家重點規劃/政策對薄膜沉積設備行業發展的影響

2.1.6 政策環境對薄膜沉積設備行業發展的影響總結

2.2 中國薄膜沉積設備行業經濟（Economy）環境分析

2.2.1 中國宏觀經濟發展現狀

2.2.2 中國宏觀經濟發展展望

2.2.3 中國薄膜沉積設備行業發展與宏觀經濟相關性分析

2.3 中國薄膜沉積設備行業社會（Society）環境分析

2.3.1 中國薄膜沉積設備行業社會環境分析

2.3.2 社會環境對薄膜沉積設備行業發展的影響總結

2.4 中國薄膜沉積設備行業技術（Technology）環境分析

2.4.1 中國薄膜沉積設備行業技術/工藝/流程圖解

2.4.2 中國薄膜沉積設備行業關鍵/新興技術分析

（1）中國薄膜沉積設備行業關鍵技術分析

（2）中國薄膜沉積設備新興技術融合應用

2.4.3 中國薄膜沉積設備行業科研投入狀況

2.4.4 中國薄膜沉積設備行業科研創新成果

（1）中國薄膜沉積設備行業專利申請

（2）中國薄膜沉積設備行業專利公開

（3）中國薄膜沉積設備行業熱門申請人

（4）中國薄膜沉積設備行業熱門技術

2.4.5 技術環境對薄膜沉積設備行業發展的影響總結

第3章全球薄膜沉積設備行業發展現狀調研及市場趨勢洞察

3.1 全球薄膜沉積設備行業發展歷程介紹

3.2 全球薄膜沉積設備行業技術現狀分析

3.3 全球薄膜沉積設備行業發展現狀分析

3.4 全球薄膜沉積設備行業市場規模體量

3.5 全球薄膜沉積設備行業區域發展格局及重點區域市場研究

3.5.1 全球薄膜沉積設備行業區域發展格局

3.5.2 重點區域一：美國薄膜沉積設備市場分析

3.5.3 重點區域二：日韓薄膜沉積設備市場分析

3.6 全球薄膜沉積設備行業市場競爭格局分析

3.6.1 全球薄膜沉積設備行業市場競爭格局

3.6.2 全球薄膜沉積設備企業兼并重組狀況

3.7 全球薄膜沉積設備行業發展趨勢預判及市場前景預測

3.7.1 對全球薄膜沉積設備行業的影響分析

3.7.2 全球薄膜沉積設備行業發展趨勢預判

3.7.3 全球薄膜沉積設備行業市場前景預測

3.8 全球薄膜沉積設備行業發展經驗借鑒

第4章中國薄膜沉積設備行業市場供需狀況及發展痛點分析

4.1 中國薄膜沉積設備行業發展歷程

4.2 中國薄膜沉積設備行業對外貿易狀況

4.2.1 中國薄膜沉積設備行業進出口統計說明

4.2.2 中國薄膜沉積設備行業進出口貿易概況

4.2.3 中國薄膜沉積設備行業進口貿易狀況

（1）薄膜沉積設備行業進口貿易規模

（2）薄膜沉積設備行業進口價格水平

（3）薄膜沉積設備行業進口產品結構

4.2.4 中國薄膜沉積設備行業出口貿易狀況

（1）薄膜沉積設備行業出口貿易規模

（2）薄膜沉積設備行業出口價格水平

（3）薄膜沉積設備行業出口產品結構

4.2.5 中國薄膜沉積設備行業進出口貿易影響因素及發展趨勢

4.3 中國薄膜沉積設備行業企業市場類型及入場方式

4.3.1 中國薄膜沉積設備行業市場主體類型

4.3.2 中國薄膜沉積設備行業企業入場方式

4.4 中國薄膜沉積設備行業市場供給狀況

4.5 中國薄膜沉積設備行業招投標市場解讀

4.5.1 中國薄膜沉積設備行業招投標信息匯總

4.5.2 中國薄膜沉積設備行業招投標信息解讀

4.6 中國薄膜沉積設備行業市場需求狀況

4.7 中國薄膜沉積設備行業市場行情走勢

4.8 中國薄膜沉積設備行業市場規模體量測算

4.9 中國薄膜沉積設備行業市場發展痛點分析

第5章中國薄膜沉積設備行業市場競爭狀況及融資并購分析

5.1 中國薄膜沉積設備行業市場競爭布局狀況

5.2 中國薄膜沉積設備行業市場競爭格局

5.3 中國薄膜沉積設備行業市場集中度分析

5.4 中國薄膜沉積設備行業波特五力模型分析

5.4.1 中國薄膜沉積設備行業供應商的議價能力

5.4.2 中國薄膜沉積設備行業消費者的議價能力

5.4.3 中國薄膜沉積設備行業新進入者威脅

5.4.4 中國薄膜沉積設備行業替代品威脅

5.4.5 中國薄膜沉積設備行業現有企業競爭

5.4.6 中國薄膜沉積設備行業競爭狀態總結

5.5 中國薄膜沉積設備行業投融資、兼并與重組狀況

5.5.1 中國薄膜沉積設備行業投融資發展狀況

5.5.2 中國薄膜沉積設備行業兼并與重組狀況

第6章中國薄膜沉積設備產業鏈全景梳理及配套產業發展分析

6.1 中國薄膜沉積設備產業產業鏈圖譜分析

6.2 中國薄膜沉積設備產業價值屬性（價值鏈）分析

6.2.1 中國薄膜沉積設備行業成本結構分析

6.2.2 中國薄膜沉積設備價格傳導機制分析

6.2.3 中國薄膜沉積設備行業價值鏈分析

6.3 中國薄膜沉積設備行業原材料/零部件市場分析

6.3.1 中國薄膜沉積設備行業原材料/零部件類型

6.3.2 中國薄膜沉積設備行業原材料/零部件市場現狀

6.3.3 中國薄膜沉積設備行業原材料/零部件發展趨勢

6.4 配套產業布局對薄膜沉積設備行業發展的影響總結

第7章中國薄膜沉積設備行業細分產品市場發展狀況

7.1 中國薄膜沉積設備行業細分市場結構

7.2 薄膜沉積設備市場分析：CVD類設備——PECVD

7.2.1 CVD類設備——PECVD市場概述

7.2.2 CVD類設備——PECVD市場發展現狀

7.2.3 CVD類設備——PECVD發展趨勢前景

7.3 中國薄膜沉積設備市場分析：CVD類設備——ALD

7.3.1 CVD類設備——ALD市場概述

7.3.2 CVD類設備——ALD市場發展現狀

7.3.3 CVD類設備——ALD發展趨勢前景

7.4 中國薄膜沉積設備市場分析：濺射 PVD設備

7.4.1 濺射 PVD設備市場概述

7.4.2 濺射 PVD設備市場發展現狀

7.4.3 濺射 PVD設備發展趨勢前景

7.5 中國薄膜沉積設備行業其他市場分析

7.6 中國薄膜沉積設備行業細分市場戰略地位分析

第8章中國薄膜沉積設備行業應用市場需求狀況

8.1 中國薄膜沉積設備行業下游應用場景/行業領域分布

8.1.1 中國薄膜沉積設備應用場景分布

8.1.2 中國薄膜沉積設備應用行業領域分布及應用概況

（1）薄膜沉積設備應用細分領域分布

（2）薄膜沉積設備各應用領域市場滲透概況

8.2 中國晶圓產能規模及擴產計劃匯總

8.3 中國半導體細分市場發展現狀及發展趨勢分析

8.3.1 中國半導體細分市場發展現狀

8.3.2 中國半導體細分市場發展趨勢

8.4 中國半導體行業市場需求現狀及市場前景預測

8.4.1 中國半導體行業市場需求現狀

8.4.2 中國半導體產業市場前景預測

8.5 中國半導體下游應用場景/領域分布

8.6 中國半導體產業發展趨勢及對薄膜沉積設備的需求影響分析

8.6.1 產能擴張

8.6.2 產品升級

8.6.3 產線升級

8.7 本土薄膜沉積設備的發展對中國半導體產業發展的影響分析

第9章全球及中國薄膜沉積設備企業布局案例研究

9.1 全球及中國薄膜沉積設備企業布局梳理及對比

9.2 全球薄膜沉積設備企業布局案例分析

9.2.1 應用材料（AMAT）

（1）企業發展歷程及基本信息

（2）企業發展狀況

（3）企業薄膜沉積設備業務布局現狀

（4）企業薄膜沉積設備在華布局狀況

9.2.2 泛林半導體（Lam Research）

（1）企業發展歷程及基本信息

（2）企業發展狀況

（3）企業薄膜沉積設備業務布局現狀

（4）企業薄膜沉積設備在華布局狀況

9.2.3 東京電子（TEL）

（1）企業發展歷程及基本信息

（2）企業發展狀況

（3）企業薄膜沉積設備業務布局現狀

（4）企業薄膜沉積設備在華布局狀況

9.2.4 先晶半導體（ASM）

（1）企業發展歷程及基本信息

（2）企業發展狀況

（3）企業薄膜沉積設備業務布局現狀

（4）企業薄膜沉積設備在華布局狀況

9.3 中國薄膜沉積設備企業布局案例分析

9.3.1 拓荊科技股份有限公司

（1）企業概況

（2）企業優勢分析

（3）產品/服務特色

（4）公司經營狀況

（5）公司發展規劃

9.3.2 北方華創科技集團股份有限公司

（1）企業概況

（2）企業優勢分析

（3）產品/服務特色

（4）公司經營狀況

（5）公司發展規劃

9.3.3 中微半導體設備（上海）股份有限公司

（1）企業概況

（2）企業優勢分析

（3）產品/服務特色

（4）公司經營狀況

（5）公司發展規劃

9.3.4 中電科電子裝備集團有限公司

（1）企業概況

（2）企業優勢分析

（3）產品/服務特色

（4）公司經營狀況

（5）公司發展規劃

9.3.5 浙江上方電子裝備有限公司

（1）企業概況

（2）企業優勢分析

（3）產品/服務特色

（4）公司經營狀況

（5）公司發展規劃

9.3.6 中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司

（1）企業概況

（2）企業優勢分析

（3）產品/服務特色

（4）公司經營狀況

（5）公司發展規劃

9.3.7 科睿設備有限公司

（1）企業概況

（2）企業優勢分析

（3）產品/服務特色

（4）公司經營狀況

（5）公司發展規劃

9.3.8 青島賽瑞達電子裝備股份有限公司

（1）企業概況

（2）企業優勢分析

（3）產品/服務特色

（4）公司經營狀況

（5）公司發展規劃

9.3.9 北京金盛微納科技有限公司

（1）企業概況

（2）企業優勢分析

（3）產品/服務特色

（4）公司經營狀況

（5）公司發展規劃

9.3.10 合肥科晶材料技術有限公司

（1）企業概況

（2）企業優勢分析

（3）產品/服務特色

（4）公司經營狀況

（5）公司發展規劃

第10章中國薄膜沉積設備行業市場前景預測及發展趨勢預判

10.1 中國薄膜沉積設備行業SWOT分析

10.2 中國薄膜沉積設備行業發展潛力評估

10.3 中國薄膜沉積設備行業發展前景預測

10.4 中國薄膜沉積設備行業發展趨勢預判

第11章中國薄膜沉積設備行業投資戰略規劃策略及建議

11.1 中國薄膜沉積設備行業進入與退出壁壘

11.1.1 薄膜沉積設備行業進入壁壘分析

11.1.2 薄膜沉積設備行業退出壁壘分析

11.2 中國薄膜沉積設備行業投資風險預警

11.3 中國薄膜沉積設備行業投資價值評估

11.4 中國薄膜沉積設備行業投資機會分析

11.4.1 薄膜沉積設備行業產業鏈薄弱環節投資機會

11.4.2 薄膜沉積設備行業細分領域投資機會

11.4.3 薄膜沉積設備行業區域市場投資機會

11.4.4 薄膜沉積設備產業空白點投資機會

11.5 中國薄膜沉積設備行業投資策略與建議

11.6 中國薄膜沉積設備行業可持續發展建議

圖表目錄

圖表1：《國民經濟行業分類與代碼》中半導體設備行業歸屬

圖表2：薄膜沉積設備工作原理

圖表3：薄膜沉積設備的界定

圖表4：薄膜沉積設備分類及說明

圖表5：薄膜沉積設備專業術語說明

圖表6：本報告研究范圍界定

圖表7：本報告權威數據資料來源匯總

圖表8：本報告的主要研究方法及統計標準說明

圖表9：中國薄膜沉積設備行業監管體系

圖表10：中國薄膜沉積設備行業主管部門

圖表11：中國薄膜沉積設備行業自律組織

圖表12：中國薄膜沉積設備標準體系建設

圖表13：中國薄膜沉積設備現行標準匯總

圖表14：中國薄膜沉積設備即將實施標準

圖表15：中國薄膜沉積設備重點標準解讀

圖表16：截至2023年中國薄膜沉積設備行業發展政策匯總

圖表17：截至2023年中國薄膜沉積設備行業發展規劃匯總

圖表18：國家“十四五”規劃對薄膜沉積設備行業的影響分析

圖表19：政策環境對薄膜沉積設備行業發展的影響總結

圖表20：中國宏觀經濟發展現狀

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